段云同🐜样需要突破的还有光刻机技术,而这其中。☦🁧
顶级的光源,高精度的镜头和精密仪器制作技术是EUV光刻机三大核心技术,阿斯麦的光源来自收购的子公司Cymer;🛇🚎💎镜头来自深度绑定的蔡司;精密仪器则自身拥有多年的经验和专利积累。
其实从后世的芯片产业发展来看,国产🗔光刻机在光源方面,以及光刻机对准台方面,都已经得到了重大突破,达到了国😅⚥📝际先进水平,中国的极紫外光也是相当厉害的,所以光源和工作台并不是制约国产光刻机的🛼最主要因素。
而真正🐜制约国产光刻机发展的是光刻机的镜头镜片,阿斯麦能够成为光刻机领域的老大🗏,其最核心的技术😽就是来自于蔡司的光学镜片。
德国蔡司是一家老牌光学厂商,早在1890年就开始生产相机镜头,这🈪🁄🃓家公司在行业的影响力不🛌🚿🙋仅仅是卖相机镜头,蔡司还从事高端光刻机高精度镜头制造,荷兰阿斯麦公司制造💴🖈的光刻机基本上都是采用蔡司镜头。
早年的时候日本尼康佳能凭借很好的光学技术底🚏子,也能生产出技术先进的光刻机,然而进入90年代之后,随着芯片制程技术的不断提高,尼康佳能🂼都曾经尝试去做更高的🔀♆光刻机镜头,但结果都失败了,只能放弃,在这个地球上,高精度的放大镜只有德国蔡司镜头可以生产。
光刻机对镜⚯🔺🅨头的要求有多高,从他的技术构造上就可以看出来。
位于光刻机中心的镜📣头,有20多块锅底大的镜片串联组成,镜片必须是高纯度透光材料加高质量抛光,而这种镜面材质要做到均匀,至少需要几十年到上👢百年的技术积累。
同一🏓个🐜镜片,不同工人去打磨,🕒🄆光洁度相差10倍。
德国蔡司公司里抛光镜片的工人,祖孙三⛭🝩🍰代在同一家🕫🌡🀦公司的同一职位。
如果把阿斯麦光刻机的光学镜片表面比作一个德国领土🁇🃮的话,那么这上面的建筑物误差不能高于两厘米,由此可见,这种光学镜片的精度达到了令人匪夷所思的程度。
现在蔡司是被阿斯麦📣公司控🇫🛞股,段云想从蔡司公司获得高精度光刻机镜片是不可能的事情,他唯一能做的就是支持国产光学镜片的研发工作。
段云通过了解,得知这次入驻深圳科技园的国内光☦🁧学企业共有三家,两家来自于北京,一家来自于上海。
这些光学研究所最早都是研究眼睛镜片的,无论从企业底蕴还是技术实力上来说,和蔡司,尼康,佳能等国际大厂差距非🐼🅐常大,有很多的技术瓶颈需要突破。
但好在80年代。光刻机的技术远没有后世2000年以后极紫外光刻机那么复杂,段云如果能够长期对这些企业保持资金🃉投入的话,是有机会追赶这🂼些国际大厂的。
而一旦🐜光刻机的光学镜片得到突破,那么国产🔇光刻机制造就已经突破了最大的技术瓶颈了,先进光刻机国产化将变成一个现实。
随着操作台一串灯🙌光闪过,NAND闪🗔学芯片正式进入试生产阶段,在场的所有人都屏住🖫🕢了呼吸,段云的脸色也显得非常凝重。
两年来,段云一直在等待着这一天到来,如果NAND芯片试生产成功,对他和整个🅀国家芯片产业而言,都是🟄历史性🙯🍽的一天,中国的芯片产业也将翻开新的篇章。
光刻机中传来嘶嘶的声响,只用🕒🄆了三分钟时间,第1片圆晶片🐤🁰就加工完成,通过传送带进入后续程序,成品一旦测试成功,就意味着整个世界上第1片NAND芯片在中国诞生。
而此时的黄令仪已经有些抑制不住内心的激🞨🖪动,身子开始微微的颤抖起来。
当20片圆晶片全部加工完成之后,段云等人🔇离开了C区,来到了位于a区的检测室。
“出来🐜了,出🃵🜌🀱来了!📣”眼见检测仪器的屏幕上出现了芯片的测试结果,蒋明炜激动的喊了起来。
“成🏓品合格率是84%,所有芯片跑线情况良好,没有出🁭现任何问题。”此时负责芯片检测🅈🄦⛜的工作人员将一份检验报告递到了段云面前,语气兴奋的说道。
“啪啪啪!”现场顿时响🜫起了掌🕒🄆声,尽管众人手上还戴着防尘手套,可是掌声依然显得非常热烈。