“老章你来的正好,下面的工作🏂🗒🚿就要移交给你喽。”胡明镇看了看光刻机的工作台,准备把朱雀酷睿i芯片的流片制程工序移交出去。相对而言,主管生产的章钕京在这方面是专家,他来主持后续的制程工艺流程最合适。
“🕝💂没问题!不就是还剩7只硅晶圆片么,🏐🙐我二十分钟搞定光刻👳流程。”章钕京挤眉弄眼的来到胡明镇的身旁。
他扫了一眼工作台,🅚🖛又瞥了一下光刻机的工作站显示屏。“哎哟,这台光刻机的功效很不错嘛,平均光刻时间是954秒,比老米的光刻机要快🈠⛕🚓了75秒钟。”他随后咂🖠🔂♚砸舌头,半开玩笑的拿胡明镇开心。
事实上,章钕京也是团队成员,对这台国产krf光刻机的速度并不满意。他们在设计这台光刻机的时候,曾经准🗃😿备计划75秒钟完成一只硅晶圆片的光刻曝光流程。现在的功效暴跌,还需要做一些制程工艺的调整才行。
可刘教授、董教授和单教授等人都是精通理论知识的外行人,见章钕京这么🁕🅨说话,于🔴🄷是都纷纷点头附🝐🏵和着。
“章教授说得对,我们这台光刻机🅧🈺的速🏯🝣度只要超过老米的产品就是胜利!”
“从光刻曝光的速度上来说,我们这台光刻机的技术已🎓经站在世界的巅峰。”
“老胡快来拍照,不要搞得🉠像小女儿家似🏐🙐的。你是核心人物,应该坐在中间。”
董教授一把拽着胡明镇,👀🅲直接就朝过合影的位🔞🁱🉥置那边拖过去。
他们这些人不🗊了解胡明镇👀🅲和章钕京等人追求,对目前的结果其实🕱🍙已经非常满意。
从内心来说,他们这帮院士们已经认可这台国产第三代光刻机的性能。只要等朱雀酷睿1芯片流片成功🌑,质量检测报告一出来,刘教授等人就会在☪🂎🍫论证🜠🃣报告上签字确认了。
而胡明镇此时却还在搜肠刮肚的思考着,寻找这台光刻机速度减慢的原因。“老章,🔴🄷你认为是什么地方出了问题?”在前去拍照留念的路上😣🃊🖈,他微皱着眉头问章钕京。
“什么地方都有问题。比如说合金材料的成分、机械加工精度、机械装配精度、激光光路系统的配合精度等等等等。方方面面的因素综合到一起,也🚟就导致我们这台光刻机无法提速,否则就会出现成品率不达标的结果。”
章钕京收起玩世不恭的模样,🕼🎻也微皱眉头在🍎跟胡明镇做技术🙲🎓🐨分析。
哎看来我们还是要重新设计一台光刻机才行🍎喽!
“只能这么办!就是不知道许董会不会支持我们的工作。”章钕京拍了拍胡明镇的后背🅗,🔶🅋微微一叹。
就在这时,负责操作光刻机工作站的技术员高声汇报🞙第三片硅晶圆片的验片数据结果,“报告胡总、章总,第三片硅晶圆片的🀤⚙光刻成品率超过9823,出现一颗废品芯片。”
“额?激光光源有点不稳定?”
“肯定是光源问题!”
听到🔈这话,已经拍好队伍的胡明镇和章🏯🝣钕京,几乎同时说出一致的原因判断。
而这些数据对于刘教授等人来说,已经是非常🔞🁱🉥高的合格数据。在他们看来,🁕🅨即便是从米国或者岛国进口的光刻机,也不能做到这么高的成品率。
更何况,刘教授等人所能接触到的光刻机,都是国外🞙淘汰的二手光刻机,而且都是一代、二代接触式光刻🍽🍠机。
见识不够,眼界不同,看到🉠的结果🅧🈺就相差非常🔞🁱🉥大。
“🕝💂老胡、老章,刚才汇报的数据很不错,你们两面对镜头笑一个!”刘教授侧过脸,招呼胡明镇和章🝐🏵钕京。