“老章你来的正好,下面的工作就要移交给你喽。”胡明镇看了看光刻机的工作台,准备把朱雀酷睿i芯片的流片制程工💘序移交出去。相对而言,主管生产的章钕京在这方面是专家,他来主持后续的制程工艺流程最合适。
“没问题!不就是还剩7只硅晶圆片🚕📑么,我二十分钟搞定光刻流程。”章钕京挤眉弄眼的来到胡明镇的身旁。
他扫了一眼工作台,又瞥了一下光刻机的工作站显示屏。“哎哟,这台光刻机的功效很不错嘛,🖻🗲平均光刻时间是954秒,比老米的光刻机要快了75秒钟。”他随后🆄🍀咂砸舌头,半开玩笑🅪的拿胡明镇开心。
事实上,章钕京也是团队成员,对这台国产krf光刻机的速度并不满意。他们在设计这台光刻机的时候,曾经准备计划75秒钟完成一只硅晶圆片的光刻曝光流程。现在的功效暴跌⛵🞬,还需要做一些制程工艺的调整才行。
可刘教授、董🂴💽🗑教授和单🕀🆢教授等人都是精通理论知识的外行人,见🅁章钕京这么说话,于是都纷纷点头附和着。
“章🄧⛦🜨教🙉授说得对,我们这台光刻机的速度只要超过老♞🉣米的产品就是胜利!”
“从🄧⛦🜨光刻曝光的速度上来说,我们这台光刻机的🞳😏⛽技术已经站在世界的巅峰。”
“老胡快来拍照,不要搞得像小女儿家似的。你是核心人物,应该🃳🛸坐在中😓🀽间。”
董教授一把拽着胡明镇,直接就朝过合🈁影的位置那边拖🙻🏥过去。
他们这🙉些人不了解胡明镇和章钕🀿🂧京等人追求,对目前的结果😙🁶其实已经非常满意。
从内心来说,他们这帮院士们已经认可这台国产第三代光刻机的性能。只要等朱雀酷睿1芯片🀷🁛流片成功,质量检测报告一出来,刘教授等人就会🞩在论证报告上签字确认了。
而胡明镇此时却还在搜肠刮肚的思考着,寻找这台光刻机速度减慢的原因。“老章,你认为是什么地方出了问题?”在前去拍照留念的路上,他微皱着眉头问章钕京。
“什么地方都有问题。比如说合金材料的成分、机械加工精度、机械装配精度、激光光路系统的配合精度等等等等。方方面面的因素综合到一起,也就导致我😖们这台光刻机无法提速,否则就会出现成品率不达标的结🏲果。”
章钕京收起玩🂴💽🗑世不恭的模样,也微皱眉头在跟胡明🏓镇做技术分🃂🔿析。
哎看来我们还是要重新设计一台🀿🂧光刻🚕📑机才行喽!
“只能这么办!就是不🕀🆢知道许董会不会支持我们的工作。”章钕京拍了拍胡明镇的后背,微微一叹。
就在这时,负责操作光刻机工作站的技术员高声汇报第三片硅晶圆片的验片数据结果,☥🁞“报告胡总、章总,第三片🝋🉣硅晶圆片的光刻成品率超过9823,出现一颗废品🆄🍀芯片。”
“额?激光光源有点不稳定?”
“肯定是光源问题!”
听到这话,已经拍好队伍的胡明镇和章钕🖷京,几乎同时说出一致的原因判断。
而这些数据对于刘教授等人来说,已经是非常高的合格数据。在他们看来,即便是从米国或者岛国进口的⛪光刻机,也不能做到这么高的成品率。
更何况,刘教🂴💽🗑授等人所能接触到的光刻机,都是国外淘汰的二手光刻机,而且都是一代、二代接触式光刻机⛬。
见识不够,🎣💾眼界不同,看到的结果就🚕📑相差非常大。
“老胡、老章,刚才汇报的数据很不错,你们两面对镜头笑一个!”刘教授侧过脸,🙺招呼胡明镇和章🏺🟊🛞钕京。