“老章你🜒来的正好,下面的☑工作就要移交给你喽。”胡明镇看了看光刻机的工作台,准备把朱雀酷睿i芯片的流片制程工序移交出去。相对而言,主管生产的章钕京在这方面是专家,他来主持后续的制程工艺流程最合适。
“没问题!🜧不就是还剩7只硅晶圆片么,我二十分钟搞定光刻流程。”章钕京挤眉弄眼的来到胡明镇🚉👧的身旁。
他扫了一眼工作台,又瞥了一下光刻机的工作站显示屏。“哎哟,这台光刻机的功效很不错嘛,平均光刻时间是954秒,比老米的光刻机要👰🌟快了75秒钟。”他随后咂砸舌头,半开玩笑的拿胡明镇开心。
事实上,章钕京🁃🃅🕖也是团队成员,对这台国产krf光刻机的🝭🎜速度并不满意。他们在设计这台光刻机的时候,曾经准备计划75秒钟完成一只硅晶圆片的光刻曝光流程。现在的功效暴跌,还需要做一些制程工艺的调整才行。
可刘教授、董教授和单🖐👳教授等人都是精通理论知识的外行人,见章钕京这么说话,于是都纷纷点头附和着。
“🇵🜹章教授说得对,我们这台光刻机的速度只要超过老米的产品就是胜利!”
“🇵🜹从光刻曝光的速度上来说,我们🃚😙🁷这🗃🙀台光刻机的技术已经站在世界的巅峰。”
“老胡快来拍照,不🐜要搞得像小女儿家似的。你是核心人物,应该坐在中间。”
董教授一把🜧拽着胡😆⚱🕎明镇,直接就朝过合影的位置那边拖过去。
他们🖇🐢🁟这些人不了解胡明镇和章钕京等人追求🚲🗔,对目前的结果其实已经非常满意。
从内心来说,他们这帮院士们已经认可这台国产第三代光刻机的性能。只要等朱雀酷睿1芯片流片成功,质量检测🎲🕄报告一出来,刘教授等人就会在论证报告上签字确认了。
而胡明镇此时却还在搜肠刮肚的思考着,寻找这🄱🁔🅝台光刻机速度减慢的原因。“老章,你认为是什么地方出了问题?”在前去拍照留念的路上,他微皱着眉头问章钕京。
“什么地方🜧都有问题。比如说合金材料的成分、机械加工精度、机械装配精度、激光光路系统的配合精度等等🌉☻🄤等等。方方面面的因素综合到一起,也就导致我们这台光刻机无法提速,否则就会出现成品率不达标的🁩🈞结果。”
章钕🖇🐢🁟京收起玩世不恭的模样,也微皱眉头在跟胡明镇做技术分析。
哎看来🟏我们还是要重新设计☑一台光刻机才行🚲🗔喽!
“只🖇🐢🁟能这么办!就是不知道许董会不会支持我们的工作。”章钕京拍了拍胡明镇的后背,微微一叹。
就在这时,负责操作光刻机工作站的技术员高🚝🔔⛾声汇报第三片硅晶圆片的验片数据结果,“报告胡总、🚉👧章总,第三片硅晶圆片的光刻成品率超过9823,出现一颗废品芯片。”
“额?激光光源有点不稳定?”
“肯定是光源问题!”
听到这话,已经拍😆⚱🕎好队伍的胡明镇和章钕京🚲🗔,几乎同时说出一致的原因判断。
而这些数据对于刘教授等人来说,已经是非常高的🙟合格数据。在他们看来,即便是从米国或者岛国进口的光刻机,也不能做到这么高的成品率。
更何况,刘教授🁃🃅🕖等人所能接触到的光刻机,都是国外淘汰的二手光刻机,而且都是一代、二代接触式光刻机。
见识不够,🜧眼界不😆⚱🕎同,看到的结果就相差非常大。
“老胡、老章,刚😆⚱🕎才汇报的数据很不错,你们两面对镜头笑一个!🔎⛄”刘教授侧过脸,招呼胡明镇和章钕京。