段云同样需🎬🔌⚴要突破的还👒🈓♞有光刻机技🅐🅪术,而这其中。
顶级的光源,高精度的镜头和精密仪器制作技术是EUV光刻机三大核心技术,🙋阿斯麦的光源来自收购的子公司Cymer🕚;镜头来自深度绑定的蔡司;精密仪器则自身拥有多年的经验和专利积累。
其实从后世的芯片产业发展来看,国🚮产光刻机在光源方面,以及光刻机对准台方面,都已经得到了🞆👼重大突破,达到了国际先进水平,中国的极紫外光也是相当厉害的,所以光源和工作台📫🝯并不是制约国产光刻机的最主要因素。
而真正制约国产光刻机发展的是光刻机的镜头镜片,阿斯麦能够成为光刻机领域的老大,其最核心的技术就是来自💚💜于蔡司的光学镜片。
德国蔡司是一家老牌光学厂商,早在1890年就开始生产💏相机镜头🈞⛀,这家公司在行业的影响力不仅仅是卖相机镜头,🄱蔡司还从事高端光刻机高精度镜头制造,荷兰阿斯麦公司制造的光刻机基本上都是采用蔡司镜头。
早年的时候日本尼康佳能凭借很好的光学技术底子,也能生产出技术先进的光刻机,然而进入90年代之后,随着芯片制程技术的不断提高,尼🃢🙝康佳能都曾😓🀾经尝试去做更高的光刻机镜头,但结果都失败了,只能放弃,在这个地球上,🐬高精度的放大镜只有德国蔡司镜头可以生产。
光刻机对镜头的要求有多高,从🐹🄴他🅐🅪的技术构造上就可以看出来。
位于🔜🁜光🆒刻机中心的镜头,有2🙟0多块锅底大的镜片串联组成,镜片必须是高纯度透光材料加高质量抛光,而这种镜面材质要做到均匀,至少需要几十年到上百年的技术积累。
同一个镜片,不同工人去打磨,光洁度相差🚭🖧10倍。
德国蔡司公司里抛光镜片的工人,祖孙三代在同一🔻家公司的同一职位。
如果把阿斯麦光刻机的光学镜片表面比作一个德国领土的话,那么这上面的建筑物误差不能高于两厘米,由此可见,这种光学镜片的精度达到了令人匪夷所思的程度。🎫🔂♚
现在蔡司是被阿斯麦公司控股🙟,段云想从蔡司公司🔻获得高精度光刻机🈞⛀镜片是不可能的事情,他唯一能做的就是支持国产光学镜片的研发工作。
段云通过♖🈛⚬了解,得知这次入驻深圳科技园的国内光学🛇🚑💩企业共有三家,两家来自于北京,一家来⚯自于上海。
这些光学研究所最早都是研🄜⚅究眼睛镜片的,无论从企业底蕴还是技术实力上来说,和⛯蔡司,尼康,佳能等国际大厂差距非常🕚大,有很多的技术瓶颈需要突破。
但好在80年代。光刻机的技术远没有后世2000年以后极紫外光刻机🔄♩那么复杂,段云如果能够长期对这些企业保持资金投入的话,是有机会追赶这些国际大厂的。
而一旦光刻机的光学镜片得到突破,🚮那么国产光刻机制造就已经突破🈞⛀了最大的技术瓶颈了,先进光刻机国产🍀化将变成一个现实。
随着操作台一串灯光闪过🄌,NAND闪学芯片正式进入试生产阶段,在场的所有人都屏住了呼吸,段云的脸色也显💚💜得非常凝重。
两年来,段云一直在等待着这一天到来,如果N🀠♲🌘AND芯片试生产成功,对他和整个国家芯片产业而言,都是历史性的一天,中国的芯片产业也将翻🐁☢开新的篇章。
光刻机中传来嘶嘶的声响,只用了三分钟时间,第1片圆晶片就加工完成,通过传送带进🁲入后续程序,成品一旦测试成功,就意味着整个世界🗈上第1片N🆁🌪AND芯片在中国诞生。
而此🔜🁜时的黄令🀫⛙仪已经有些抑制不住🅐🅪内心的激动,身子开始微微的颤抖起来。
当20片圆晶片全部加工完成之后,段云🎧📠🜒等人离开了C区,来到了位于a区的检测室。
“出来了,出来了!”眼见检测仪器的屏幕上出现了芯片的测试🕶结果,蒋明炜激动的喊了起来。
“成品🆒合格率是84%,所有芯片跑线情况良好,没有出现任何问题。”🔄♩此时负责芯片检测的工作人员将一份检验报告递到了段云面前,语气兴奋的说道。
“啪啪啪!”现场顿时响起了掌声,尽管众人🕆😗手上还戴着防尘手套,可😚是掌声依然显得非常热烈。