“老章你来的正好,下面的工作就要移交给你喽。”胡明镇看了看光刻机的工作台,准备把📉😿朱雀酷睿📮🞐📔i芯片的流片制程工序移交出去。相对而言,主管生产的章钕京在这方面是专家,他来主持后续🚈👜的制程工艺流程最合适。
“没问题!不就是还🟇🛄剩7只硅晶圆📨🝚片么,我二十分钟搞定光刻流程。”章钕京挤眉弄眼的来到胡明镇的身旁。🅂
他扫了一眼工作台,又瞥了一下光刻机的工作站显示屏。“哎哟,这台光刻机的功效很不错嘛,平均光刻时间是954秒,比🎨📦🝇老米的光刻机要快了75秒钟。”他随后咂砸舌头,半开玩笑的拿胡明镇开心。
事实上,章钕京也是团队成员,对这台国产krf光刻机的速度并不满意。他们在☾🅀设计这台光刻机的时候,曾经准备计划75秒钟完成一只硅晶圆片的光刻曝光流程。现在的功效暴跌,还需要做一些制程工艺的调整才行。
可刘🏶🞧教授、董教授和单教授等人都是精通理论知识的外行人,见章钕京这么说话🕯🍆🅱,于是都纷纷点头附和着。
“章教授🚚说得对,我们这台光刻机的速度只要超过老米的产品就是胜利!”
“从🏶🞧光刻曝光的☱速度上来说🍀🄼,我们这台光刻机的技术已经站在世界的巅峰。”
“老胡快🚚来拍照,不要搞得像小女儿家似的。你是核心人物,应该坐在中间。”
董教授一把拽着胡明镇,直接就朝过🕣合影的位置那边拖过去。
他们这些人不了解胡明镇和章钕京📨🝚等人追求,对🅁🃩目前的结果其实已经⛂非常满意。
从内心来说,他们这帮院士们已经认可这台国产第三代光刻机的性能。🌥🁍只要等朱雀酷睿1芯片流片成功,🌲🂽🔓质量检测报告一出🃈🕸来,刘教授等人就会在论证报告上签字确认了。
而胡明镇此时却还在搜肠刮肚的思考着🗪,寻找这台光刻机速度减慢的原因。“老章,你认为是什么地方出了问题?”在前去拍照留念的路上,他微皱着眉头问章钕京。
“什么地方都有问题🟇🛄。比如说合金材料的成分、机械加工精度、机械装配精度、激光光路系统的配合精度等等等等。方方面面的因素综合到一起,也就导致我们这台光刻机无法提速,否则就会出现成品率不🃆🕥达标的结果。”
章钕京收起玩世不恭的模样,也微皱眉头在跟胡明镇做技术💼🗍分析。
哎看来我们还是要重新设计一🇼🐉台光刻机才行喽!
“只能这么办!就是不知道许🇼🐉董会不会支持我们的工作。”章钕京拍了拍胡明镇的☾🅀后背,微微一叹。
就在这时,负责操作光刻机工作站的技术员高声汇报第三片硅晶圆片的验片数据结果👡👌,“报告胡总、📮🞐📔章总,第三片硅晶圆片的光刻成品率⚂🎨📧超过9823,出现一颗废品芯片。”
“额?激光光源有点不稳定?”
“肯定是光源问题!”
听到这话,已经拍好队伍的胡明镇和章🗪钕京,几乎同🔣时说出一致的原因判断。
而这些数据对于☱刘教授等人来说,已经是非常高的合格数据。在他们看来,即便是从米国或者岛国进口的光刻机,也不能做到这么高的成品率。
更何🏶🞧况,刘教授等人所能接触到的光刻机,都是国外淘汰的二手光刻机,而🎷🕲且都是一代、二代接触式光刻机。
见识不够,眼界不同,看到的结果就相🗪差非常大。
“老胡、老章,☱刚才汇报的数据很不错,你们两面对镜头笑一个!”刘教授侧过脸,招呼胡明镇和章钕京。