段云同样需要突🔊⚢📈破的还有光刻机🅯技术,而这其中。
顶级的光源,高精度的镜头和精密仪器制作技术是EUV光刻🉆🅄机三大核心技术,阿斯麦的光源来自收购的子公司Cym👿er;镜头来自深度绑定🝅🈳的蔡司;精密仪器则自身拥有多年的经验和专利积累。
其实从后世的芯片产业发展来看,国产光刻机在光源方面,以及光刻机对准台方面,都已经得到了重大突破,达到了国际先进水平,中国的极紫外光也是相当厉害的,所以光源和工作台并不是制约国产光刻机的最主要🜀⚫因素。
而真正制约国产光刻机发展的是光刻机的镜头镜片,阿斯麦能够成为☸🄌光刻机领域的老大,其最核心的技🎑🐚🀞术就是来自于蔡司的光学镜片。
德国蔡司是一家老牌光学厂商,早在1890年就开始生产相机镜头,这家公司在行业的影响力不仅仅是卖相机🛐镜头,蔡司还从事高端光刻机高精度镜头制造,荷兰阿斯麦公司制造的光刻机基本上都是采用蔡司镜头。
早年的时候日本尼康佳能凭👛借很好的光学技术底子,也能生产🉆🅄出技术先进的光刻机,然而进入90年代之后,随着芯片制程技术的不断提高,尼康佳能都曾经尝试去做更高的光刻机镜头,但结果都失败了,只能放弃,在这🛟个地球上,高精度的放大镜只有德国蔡司镜头可以生产。
光刻机对镜🝛头的要求有多高,从他的技术构造上就可以看出来。
位于光刻机中心的镜头,有20多块锅底大的镜片串联组成,镜片必须是高纯度透光材料加高质量🅐抛光,而这种镜面材质要做到均匀,至少需要几十年到上百年的技术积累。
同一个镜片,不同工人去打磨,🅯光洁度相差10🌅倍。
德国蔡司公司里抛光镜片的工人,祖孙三代在同一家公司🏂的同一职位☸🄌。
如果把阿斯麦光刻机的光学镜片表面比作一个德国领土的话,那么这上面的建筑物误差不能高于两厘米,由此可见,这种光学镜片的精度达到了令人匪夷所👯思的程度😨🝙。
现在蔡司是被阿斯麦公司控股,段云想从蔡司公司获得高精度光刻机镜片是不可能的事情,他唯一能做的就是支持🜔🁵国产光学镜片的研发工作。
段📽☲云通过了解,得😛🂆知这次入驻深圳科技园的国内光学企业共有三家,两家来🞙🔧自于北京,一家来自于上海。
这些光学研究所最早都是研究眼睛镜片的,无论从企业底蕴还是技术实力上来说,和蔡🆢司,尼康,佳能等国际大厂差距非常大,有很多的技术瓶颈☄☠🀵需要突破。
但好在80年代。光刻机的技术远没有后世2000年以🏂后极紫外光刻机那么复杂,段🆢云如果能够长期对这些企业保持资金投入的话,是有机🏴🞔会追赶这些国际大厂的。
而一旦⛑🙭🍨光🖌刻机的光学镜片得到突破,那么国产光刻机制造就已经突破了最大的技术瓶颈了,先进光刻机国产化将变成一个🔺🅧现实。
随着操作台一串灯光闪过,NAND闪学芯片正式进入试生产阶段,在场的所有人都屏住了呼吸,段云🎑🐚🀞的脸色也显得非常凝重。
两年来,段云一直在等待着这一天到来,如果NAND芯片试生产成功,对他和整个国家芯片产业而🛖言,都是历史性的一天,中国的芯片产业也将翻开新的篇章。
光刻机中传来嘶嘶的声响🎋🏟,只用了三分钟时间,第1片圆晶片就加工完成,通过传送带进入后续程序,成品一旦测试成功,就意味着整个世界上第1片NAND芯片在中国诞👝生。
而此时的黄令🐧🂏仪已经有些抑制不🅯住内心的激动🞣,身子开始微微的颤抖起来。
当20⛑🙭🍨片圆🝛晶片全部加工完成之后,段云等人离开了C区,👻🎁来到了位于a区的检测室。
“出来了,出来了!”眼见检测仪🕑器的屏幕上出现了芯片的测试结果,蒋明炜激动的喊🆢了🎢💭起来。
“成品合格率是84%,所有芯片跑线情况良好,没有出现任何问题。”此时负责芯片检测的工作🅐人🛖员将一份检验报告递到了段云面前,语气兴奋的说道。
“啪啪啪!”现场顿时响🎋🏟起👛了掌声,尽管众人手上还戴着🏂防尘手套,可是掌声依然显得非常热烈。